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材料简介
Introduction
口径超过一米。
在室温区间下具有近零的热膨胀系数,且热膨胀均匀性好,应力低,可根据客户要求定制一定零膨点温度区域的产品。
作为精密光路系统的反射镜、激光谐振腔体等部件,应用于天基太空望远镜、半导体光刻设备用光学元件等高精尖领域。
Ultra-low expansion quartz glass with a diameter of more than 1meter, It has a near-zero thermal expansion coefficient in the room temperature range, and the zero expansion point temperature range is controllable. As a mirror of precision optical system, laser resonant cavity and other components, it is used in space-based space telescopes, optical components for semiconductor lithography equipment, atomic clocks and other fields.
热膨胀系数
Coefficient of Thermal Expansion
热膨胀系数低
Near-zero thermal expansion coefficient
可控的零膨点区间
Controllable zero expansion point interval
CTE均匀值
CTE Homogeneity
OD660×50mm CTE均匀性(PV):30 ppb
OD660×30mm 应力双折射均值 :9.79 nm/cm
OD950×65 mm CTE均匀性(PV):17.1 pp ppb
OD950×60 mm 应力双折射均值:12.31 nm/cm
160×160×10 mm CTE均匀性(PV) :<10 ppb
160×160×10 mm 应力双折射均值 :2.71 nm/cm
物理性能
Physical properties
生产厂商
平均线膨胀系数5-30℃(α)
导热系数 (K)
热扩散率 (D)
体积热阻率200°C,100Hz (R)
平均比热(Cp)
应变点
退火点
软化点
泊松比(v)
极限拉伸应力 (MOR)
努氏硬度,200g 载荷
密度(ρ)
比刚度(E/ρ)
剪切模量 (G)
体积模量 (K)
弹性模量 (E)
应力光学系数
折射率(标称 CTE 材料)
阿贝数
LEQZ®
0 - ±30ppb/℃
1.31 w / (m· ℃) [1.13 kcal / (m·h·℃)]
0.0079 cm/s
10 11.6 ohm· cm
767 J / (kg·℃)
[0.183 cal / (g·℃)]
890 ℃ [1634°F]
1000 ℃ [1832°F]
1490 ℃ [2714°F]
49.8 MPa [7220 psi]
518kg / mm²
2.21g / cm³ [0.079 lb / in³ ]
3.12x10m6[1.23 x 108 in]
29.0 GPa [4.20 x 106 psi]
34.1 GPa [4.95 x 106 psi]
67.6 GPa [9.80 x 106 psi]
3.12x10 m6[1.23 x 108in]
5-20 (nm/cm)/(kg/cm² )
nF (486 nm) 1.4892
nD(589 nm) 1.4828
nC (656 nm) 1.480
53.1
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